duv和euv技术区别（DUV是深紫外线(Deep Ultraviolet Lith）
- 作者: 五速梦信息网
- 时间: 2026年03月18日 12:22
DUV是深紫外线（Deep Ultraviolet Lithography），EUV是极深紫外线（Extreme Ultraviolet Lithography）。从制程范畴看来，DUV大部分只有保证25nm，Intel凭着双工作台的方式实现了10nm，可是却不能做到10nm下列。仅有EUV能达到10nm下列的晶圆制造，而且还可以向5nm、3nm再次延伸。
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